《材料科学与工程系列：薄膜技术与薄膜材料》的应用范围极为广泛，从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光I.ED固体照明、太阳能电池到材料的表面改性等，涉及高新技术产业的各个领域。《材料科学与工程系列：薄膜技术与薄膜材料》内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4

本书较为系统、全面地介绍了与薄膜制备技术相关的各种基础知识，涉及了薄膜制备系统、典型的物理制膜与化学制膜方法、薄膜加工方法，以及常用的薄膜性能表征技术，同时紧密结合当前薄膜领域最先进的技术、方法和装置。原外版书作者长期在薄膜科学与技术领域从事研究、开发和教育工作，有丰富的工作经验与广博的专业知识。本书自初版以来，已有三