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本书是面向微电子及相关专业的试验教程,以微电子器件制造过程为主线,重点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础知识和试验方法。第1、2章介绍清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、沉积等相关制造工艺的基础知识和基础试验,详细阐述各项单步工艺的试验原理、试验设备、试验方法和步骤。第3章介绍微电子器件制造过程中的物理性

本书针对微电子学相关专业在后续的专业课学习过程中对物理学基础知识及数学物理方法的需求。论述了在量子力学要用到数学物理方法中的波动方程,以及热传导方程与调和方程的求解方法;量子力学简要论述薛定谔方程的应用、氢原子的求解、量子力学中力学量的表示及相互间的关系;在热力学与统计物理中,论述了热力学的基本概念、热力学定律、热平衡

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Protel99SE是目前国内比较流行的EDA软件之一，本书介绍了使用Protel99SE进行电路板设计应用的各种基础知识，包括印刷电路板的发展历史及分类用途、原理图设计、PCB板的设计，并考虑到知识的难易程度，由浅入深，由简单到复杂，以项目化的结构进行介绍知识点及技能训练，并安排了九个项目，通过这九个项目的学习达到培

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《微电子专业实验教材系列丛书：模拟集成电路设计实验教程》是电子科技大学“电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心”系列规划教材及教育部“卓越工程师教育培养计划”系列教材之一，是在多年来《集成电路原理》和《集成电路原理与设计》课程实验及综合课程设计教学改革的基础上编写而成的。教程涵盖了版图提取、电路设计仿真、版图设计与规

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