随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用，MEMS芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行，但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同，这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构，进而实现硅基M

本书以“新工科建设”需求为导向，设置教材内容，围绕Matlab/Simulink在控制系统中的应用、机电控制系统的建模与性能分析、控制算法的计算机辅助设计与分析等内容进行编写，从基本的软件工具的使用，建模与控制方法的分析与应用，再到实际案例的讲解与实践，内容全面，重点突出。其中，前三章主要是对以MATLAB为主的仿真工

本书是根据工程教育认证理念，遵循培养学生应用实践能力，根据作者多年的教学经验及近几年来教学改革成果编写而成的。 本书在内容上注意突出应用型特色，并兼顾机械行业发展的趋势。全书共8章，主要内容有：材料力学实验、机械原理实验、机械设计实验、互换性与技术测量实验、工程材料与成型技术实验、机械制造技术基础实验、液压与流体传动

本书主要介绍经典控制理论的基本内容，涉及控制系统的基本原理、分析方法、设计校正及应用实例等。本书共分5章，主要内容包括反馈控制的基本概念、控制系统的数学模型、控制系统时间响应、稳定性、稳态误差分析、频率特性分析、系统的综合与校正。本书旨在培养学生分析和解决复杂工程问题的能力，在理论分析的基础上，结合机械行业的工程实际，

"教材以培养应用型、创新型高素质技术技能人才为目标，参照相关国家职业标准及有关行业职业技能等级认定规范编写的，结合职业院校机电专业学生的学情和学习特点，以工业自动控制中典型项目为载体，采用项目化课程模式编写，每个项目分成若干个任务。“任务引领、项目驱动”的教学方法贯穿于教学全过程。全书涵盖了机械制造技术、传感器检测技术

《机电控制技术（第二版）》以电机为核心，以控制为主线，将机电系统有机结合起来，全面系统地阐述机电系统的控制问题，研究和分析机电系统的特性、控制原理、控制系统设计方法。内容涵盖机电系统传动力学、电机的原理与特性、基本控制原理和技术。《机电控制技术（第二版）》共10章，内容包括：机电控制技术概述、机电系统传动力学、直流电机

本书从工程实际应用角度出发，对机电一体化系统设计、安装与调试中所涉及到的PLC、传感器、伺服驱动、现场总线及工业组态等相关技术的应用进行认知性介绍。

本书对微纳机电系统与微纳传感器领域的主要技术进行了分类阐述，全面总结了技术的发展现状，客观分析了技术的发展态势，从学科的发展规律和研究特点出发，前瞻性地思考了技术的发展思路与发展方向，提出了我国发展该学科的资助机制与政策建议。

本书是按照高等院校“机械工程”专业研究生培养目标编写的，讲述现代机械控制系统的基本原理、设计方法以及在现代机械工程自动控制系统中的应用。全书共七章，内容包括绪论、机械控制系统的数学模型、机械控制系统数学模型求解及分析、机械控制系统的稳定性分析、机械控制系统校正与设计、**控制理论基础、智能控制理论基础。通过工程应用实例

本书包括ANSYSWorkbench基础知识、工程数据、几何模型创建、网格划分、线性结构静力学分析、结构动力学分析、结构非线性分析、综合应用8部分内容，全书包含33个应用实例，基本涵盖了ANSYSWorkbench在机械工程领域的基本应用。读者可以跟随本书所介绍的分析步骤快速入门，然后通过练习与操作，进一步理解这些内容